장비 사업부에서는 반도체칩 제조용 wafer세정장비와 5세대 까지의 FPD용 세정장비를 고객 요구사항에 맞도록
다양하게 제조 판매 및 수출하고 있으며, 현 시점에 발맞춰 7,8세대까지의 세정장비에 대해 개발중에 있습니다.
기타 보조 장비류 즉, clean room에서 사용되고 있는 각종 보조 유니트(foot pad, parts stocker, Trolley etc)
를 제조 하고 있고, 반도체 관련 부분품 인, 항온 CS Heater, 항온 항습 장치, High purity diaphragm,
v/v(GEMU), Leak Sensor(Toyoko)etc, 등의 한국 대리점으로서 판매 및 장비 제작 지원을 하고 있습니다.
그리고 Komatsu사의 HOT DI Water Heater를 국산화하여 국내 반도체 산업에 발빠르게 대응해 왔습니다.
기타, Riken keiki의 Gas detector system을 독립 사업부문으로 구성하여 Line 및 반도체 설비에 설치하여
유지 보수팀을 상시 운영, 고객의 요청에 따른 철저한 관리를 해드리고 있습니다.
그리고 그밖에 각종 장치류와 세정장비의 개조 및 개발을 끊임 없이 연구하고 있습니다.
우리 진공 사업부에서는 반도체 vacuum line Hook-up 및 진공 부품 제조를 고객의 spec에 따라 생산,납품하는
system을 구축하여 명실공히 Line Hook-up 및 Customized Fabriccation을 실현하고 있습니다.
당사 연구소는 진공관련 부분에서 "고주파 글로우 방전을 이용한 고체 시료 직접 분석 기술" 및 "RF 글로우
방전을 이용한 고체시료 직접 분석장치"에 대한 특허를 이미 인증 받은바 과학기술 진흥협회로부터 KT 마크를
획득하였고 중소기업청으로 부터 벤처 기업에 선정되었습니다.