- 노광후 반송되어진 GLASS 기판을 현상 및 CLEANING하는 장치. LOADING, CHEMICAL SPRAY, DI SPRAY, UNLOADING 등의 ZONE으로 구성
- PANEL 상에 배양 처리된 모근등의 PARTICLE을 제거하기 위하여 IPA 및 순수로 세정하는 설비