WET BENCH HALF AUTO WET CLEAN BENCH
TUBE CLEANER PARTS CLEANER
DI-WATER HEATER AUTOMATIC ORGANIC STRIP BENCH SPECIFICATION
 
 
    - Clean
  - Compact
  - Excellent temperature control
  - High Efficiency
  - Safety
    - Heating of ultra-pure water for rinsing of silicon
   wafer and glass substrates of LCDs
  - Heating of pure water used in placed of CFC for
   cleaning
 
 
* 특징
1.COMPACT한 디자인 : 설치 면적과 용적을 작게하여 종형으로 배치 설계하였습니다.
2.조작ㆍMAINTENANCE 가 간편: 액정 THOUCH PANEL의 적용으로 운전상태와 Error 내용을 화면으로 표시하는 것이 가능하고, 조작성ㆍMAINTENANCE가 대폭 향상 되었습니다.
3.CLEAN : 가열 용기는 고순도의 석영 GLASS 배관과 기기류의 접액부는 불소수지와 PEEK을 사용하고 있기 때문에 TOC와 금속 이온등의 불순물을 거의 용출 되지않습니다.
4.고성능 : 고출력 HALOGEN LAMP에 의한 우수한 가열능력과 유량 변화에도 대응하는 출력제어에 의해 넓은 유량범위에도 온순수를 연속 공급할 수 있습니다
5.높은 가열효율 : 특수형태의 다관식 가열식 용기와 HALOGEN LAMP와의 조합에 의한 복사가열이기 때문에 가열효율은 95%이상 되어 저전력용 입니다.
6.안전을 고려한 설계 : 과승온방지ㆍ공가열방지ㆍLEAK경보등 각종의 안전장치를 탑재하고 있기 때문에 안심하고 사용하십시요.
* 사양
모델명 PWH-48N PWH-72N
HEATER 전력량 48KW 72KW
표준유량, 승온능력 12ℓ/min, ∠T=55℃ 18ℓ/min, ∠T=55℃
설정온도 범위 25 ~ 85℃
온도제어 범위 ±1℃(유량일정,35~85℃설정시)
유량표시 범위 0 ~ 50 ℓ/min
사용 최소유량 5ℓ/min 5ℓ/min
전원(3상 AC208V± 10%) 최대 147A 최대 221A
외형치수(D×W×H) 340×850×1384mm 340×850×1584mm
중량 약 165kg 약 180kg
외부통신기능 RS232C
외부 입출력 기능 5-입력/14-출력신호
안전기능 유량이상경보, 과승온경보, 공가열경보, LEAK경보, SENSOR단선경보, LAMP단선경보등
 
모델명 PWH-96N PWH-144N
HEATER 전력량 96KW 144KW
표준유량, 승온능력 24ℓ/min, ∠T=55℃ 36ℓ/min, ∠T=55℃
설정온도 범위 25 ~ 85℃
온도제어 범위 ±1℃(유량일정,35~85℃설정시)
유량표시 범위 0 ~ 50 ℓ/min
사용 최소유량 5ℓ/min 5ℓ/min
전원(3상 AC208V± 10%) 최대 295A 최대 442A
외형치수(D×W×H) 340×850×1987mm 700×850×1714mm
중량 약 195kg 약 365kg
외부통신기능 RS232C
외부 입출력 기능 5-입력/14-출력신호
안전기능 유량이상경보, 과승온경보, 공가열경보, LEAK경보, SENSOR단선경보, LAMP단선경보등
 
* 가열능력선도
본 사양서는 당사제품을 소개하는 목적으로 주요제품을 예로서 기재한 것이며 그 기재내용은 충분한 신뢰를 바탕으로 합니다만 제품의 납입사양서를 대신 할 수는 없습니다. 당사 제품에 적용 또는 사용시에 본서를 보는것으로 기종을 선택하고 구입하여도 당사의 본서 기술 내용을 기본으로 제품의 법적 보증책임은 없습니다.