RF deposition system - 산업 자원부, 1993
고해상 광신호 분석시스템 제어 및 스펙트럼 분석 - 산업 자원부, 1995
Slurry 공급장비 개발사업 - 한국기술금융㈜, 1998
RF gas-jet boosted 글로우 방전 방출 분광법을 이용한 전도성 및 비전도성의 박막분석에 관한 연구 - 산업 자원부, 1998
고감도 다중 채널 광학 기술을 적용한 RF 스퍼터링 분광분석 시스템 개발 - 산업자원부, 1999
실시간 다원소 중금속 분석을 위한 고감도 광 플라즈마 측정 기기의 개발 - 중소기업청, 2001
원격 모니터링 기술이 접합된 현장 이동식 수질 미량원소 분석기의 개발 - 산업자원부, 2001
생체 시료의 성분분석을 위한 원자방출 분석장치 - 중소기업청, 2004
반도체 공정 가스 분석기기 개발 - 에이치아이티, 2005
유도결합 플라즈마 광방출분광법에 의한 반도체 공정 가스 분석 및 공정 모니터링 장치 개발 - 에이치아이티, 2006
자체 플라즈마를 이용한 반도체 공정 챔버 조건 최적화를 위한 모니터링 장치 개발 - 중소기업청 2007
 
 
특허(실용신안)의 명칭 특허등록번호 출원번호 등록년도
RF글로우방전을 이용한 고체시료 직접 분사장치
제 10-0154596 호   1998
고주파 글로우방전을 이용한 고체시료 직접분사장치 및 그 방법속빈 음극관을 가지는 분광분석시스템의 글로우 방전셀 제 10-0218281호
제 10-0453293 호
  1999
2004
가스분출 글로우방전을 이용한 시료의 이온화장치를 구비하는 질량분석시스템 제 10-0437728 호   2004
전열 증기화장치 제10- 751884 호   2007
플라즈마를 이용한 시료 검출장치 및 이를 이용한 시료 검출 방법
용매 제거 장치 및 이의 사용 방법
플라스마 증착 방법 및 이를 위한 장치
제 10-06797354호
제 10-0287836호
제 10-0746512호
  2007
2001
2007
플라스마 장치
플라즈마를 이용한 소형화된 시료 검출장치
  10-2006-0115052
2007
플라즈마 장치 특허 등록
제10-0824361호   2008. 04