에이치아이티(주)
고객 만족의 극대화와 내부로의 R&D강화를 동시에추구하는 기업이 되겠습니다.
부설연구소
연구실적
연구실적
주요연구실적
| RF deposition system - 산업 자원부, 1993 |
| 고해상 광신호 분석시스템 제어 및 스펙트럼 분석 - 산업 자원부, 1995 |
| Slurry 공급장비 개발사업 - 한국기술금융㈜, 1998 |
| RF gas-jet boosted 글로우 방전 방출 분광법을 이용한 전도성 및 비전도성의 박막분석에 관한 연구 - 산업 자원부, 1998 |
| 고감도 다중 채널 광학 기술을 적용한 RF 스퍼터링 분광분석 시스템 개발 - 산업자원부, 1999 |
| 실시간 다원소 중금속 분석을 위한 고감도 광 플라즈마 측정 기기의 개발 - 중소기업청, 2001 |
| 원격 모니터링 기술이 접합된 현장 이동식 수질 미량원소 분석기의 개발 - 산업자원부, 2001 |
| 생체 시료의 성분분석을 위한 원자방출 분석장치 - 중소기업청, 2004 |
| 반도체 공정 가스 분석기기 개발 - 에이치아이티, 2005 |
| 유도결합 플라즈마 광방출분광법에 의한 반도체 공정 가스 분석 및 공정 모니터링 장치 개발 - 에이치아이티, 2006 |
| 자체 플라즈마를 이용한 반도체 공정 챔버 조건 최적화를 위한 모니터링 장치 개발 - 중소기업청 2007 |
| 태양 전지용 공정 장비 개발 – 에이치아이티 2009 |
| 태양전지 양산 CSD System 개발 – 에이치아이티 2010 |
| 중, 소형 연마벨트 타입 패널 세정 System 개발 – 에이치아이티 2011 |
| 건식 세정 System 개발 – 에이치아이티 2014 |
| Rework 세정 System 개발 중 – 에이치아이티 2017 |
특허 및 실용신안
| 특허(실용신안)의 명칭 | 특허등록번호 | 출원번호 | 등록년도 |
|---|---|---|---|
| RF글로우방전을 이용한 고체시료 직접 분사장치 | 제 10-0154596 호 | 1998 | |
| 고주파 글로우방전을 이용한 고체시료 직접분사장치 및 그 방법속 빈 음극관을 가지는 분광분석시스템의 글로우 방전셀 |
제 10-0218281 호 제 10-0453293 호 |
1999 2004 |
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| 가스분출 글로우방전을 이용한 시료의 이온화장치를 구비하는 질량분석시스템 | 제 10-0437728 호 | 2004 | |
| 전열 증기화장치 | 제 10-751884 호 | 2007 | |
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플라즈마를 이용한 시료 검출장치 및 이를 이용한 시료 검출 방법 용매 제거 장치 및 이의 사용 방법 플라스마 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
제 10-06797354 호 제 10-0287836 호 제 10-0746512 호 |
2007 2001 2007 |
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| 플라스마 장치 플라즈마를 이용한 소형화된 시료 검출장치 |
10-2006-0115052 | 2007 | |
| 플라즈마 장치 특허 등록 | 제 10-0824361 호 | 2008. 04 | |
| 소형 평판 패널용 세정 장치 | 10-2010-0107692 | 2009 | |
| 평판 물체를 수평반송하기 위한 운반시스템 및 이를 이용한 인라인 디핑 구축 방법 | 10-2010-0076417 | 2010 | |
| 박막 세정장치 | 제 10-1310091 호 | 2013 | |
| 패널 세정 시스템 (Steam Pre-Heating System) | 제 10-1614423 호 | 2016 | |
| 커버글라스 세정 시스템 | 10-2016-110791 | 2016 |
