케미칼 장비

Chemical Equipment

Accessory Equipment

반도체 제조 공정에 사용되는 쿼츠 튜브(Quartz Tube) 및 주요 부품을 정밀 세정·건조하는 핵심 부대설비

특장점

• Full Auto Tube Cleaner

• Semi Auto Tube Cleaner

• Part Cleaner

• Bake Oven

• CDS (Chemical Delivery System)

적용 분야

  • Quartz Tube & Boat / Parts 세정건〮조
  • CDS(Chemical Delivery System) - 각 장비의 필요 공정에 Chemical을 공급
  • Sludge Separator - 석영 가공 공장

주요 제품

  • Quartz Tube Cleaner (Quartz Tube & Boat 세정 설비)

  • Parts Cleaner (반도체 핵심 장비 부품 세정 설비)

  • Bake Oven (Quartz Tube & 부품 건조 장치)

  • CDS (Chemical Distribution System / 화학약액 분배 시스템)

  • Sludge Separator