캐니스터 세정 시스템(Canister Process Solution)

케미칼 장비

Chemical Equipment

세정부터 정밀 계측까지, 캐니스터(Canister) 생애주기 전반을 통합 관리하는 공정 솔루션

생산성 극대화: 자동화 로봇 시스템(Automated Robot System) 도입을 통해 수작업 대비 최소 인원으로 세정 처리량을 획기적으로 증대시킵니다.
[ 기존 수작업: 4~6명 → 시스템 도입: 1~2명 ]
작업자 안전 및 공정 신뢰성 확보: PC 및 PLC 기반의 정밀 제어와 다중 인터락 시스템(Interlock System)을 적용하여 구동 안정성을 높였습니다.
유해 화학 물질 노출 및 중량물 반복 취급으로 인한 작업자의 보건·안전 리스크를 예방합니다.
최고 수준의 세정 품질 구현: 고도화된 화학 세정(Wet Cleaning)과 정밀 퍼지(Purge) 공정의 시너지를 통해 잔류 불순물과 파티클(Particle) 발생을 최소화합니다.
표준화된 시퀀스로 수작업 대비 균일하고 정교한 세정·건조 품질을 보장합니다.
고객 맞춤형 최적화 설계: 중앙 공급(CCSS) 및 로컬 공급(LCSS) 라인 연동을 지원하여 다양한 팹(Fab) 환경에 완벽히 대응합니다.
고객사의 공정 특성, 공간 제약, 작업 동선에 맞춘 커스텀 설계부터 제작·설치까지 토탈 솔루션을 제공합니다.