PRODUCT

고객 만족의 극대화와 내부로의 R&D강화를 동시에
추구하는 기업이 되겠습니다.
제품소개 FPD 장비 전공정 장비

전공정 장비

HLD-FPS (대형)
· Panel WET 설비로 다양한 공정에 대응 가능 하다
· Panel Size : 6G ~ 8G
· Process Direction : Roller (Horizontal & Tilting)
                         : Single & Dual type Air knife
· Chemical Supply : CCSS or LCSS type
· Control method : PC or PLC control

Application field

  • - ITO Etcher
  • - Initial Cleaner
  • - Develop
  • - Pre PI Cleaner
  • - Pre Depo Cleaner
  • - DI Docking