PRODUCT
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제품소개
LED 장비
Lift Off
Lift Off
ECOMA-200 (Lift Off)
· PR Strip 공정에서 Metal Pattern은 남기고 불필요한 Metal은 Resist와 함께 Lift off시키는 장치 이다.
· Wafer Size : 4 ~ 6inch
· Chamber : 2ea / 1Floor type (4~8Chamber 구성 가능)
· Chemical Supply : CCSS or LCSS type
· Sub unit : Steam generator / Micro bubbler + DIW unit
· Control method : PC or PLC control / Scheduler control
· Wafer Size : 4 ~ 6inch
· Chamber : 2ea / 1Floor type (4~8Chamber 구성 가능)
· Chemical Supply : CCSS or LCSS type
· Sub unit : Steam generator / Micro bubbler + DIW unit
· Control method : PC or PLC control / Scheduler control
